前道量检测设备行业面临的机遇和挑战行业主要企业

半导体设备行业中，前道量检测设备主要运用光学技术、电子束技术等测量晶圆的薄膜厚度、关键尺寸等，或检测产品表面存在的杂质颗粒、机械划伤、晶圆图案缺陷等，贯穿光刻、刻蚀、薄膜沉积、CMP 等晶圆制造的全部工序。前道量检测设备根据使用目的可分为测量设备和检测设备：其中，测量设备主要是对晶圆的薄膜厚度、关键尺寸、套准精度、刻蚀深度、表面形貌等进行测量，以确保其符合参数的设计要求；而检测设备主要用于识别并定位产品表面存在的杂质颗粒沾污、晶圆图案缺陷、微观缺陷观测、机械划伤等问题。

资料来源：普华有策

1、前道量检测设备行业面临的机遇

（1）国家政策的大力支持

半导体产业是现代经济社会发展的战略性、基础性和先导性产业，已成为当前衡量一个国家或地区综合竞争力的重要标志。为鼓励、推动产业发展，国家出台了一系列财政、税收政策。2017 年 1 月，发改委发布的《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录》将半导体专用设备产业列入战略性新兴产业重点产品目录。2021 年 3 月，“十四五”规划将集成电路设计工具、重点装备等特色工艺突破作为加强原创性、引领性科技攻关的重点任务。前道量检测设备领域也受益于国家对半导体产业的支持政策，迎来了良好的发展机遇。

（2）下游需求持续增长

汽车电子、消费电子等终端应用领域的繁荣发展，推动了我国晶圆制造产线建设步伐加快。数据显示，2017 年至 2020 年间，全球投产的晶圆厂约 62 座，其中 26 座设于中国大陆；至 2020 年末，全球晶圆产能达到每月 3,184万片，其中，中国大陆晶圆产能占全球比例为 15.8%。

下游晶圆制造产线的快速建设，对前道量检测设备需求持续增长。2016 年至 2020 年，中国大陆前道量检测设备市场规模由 7.0 亿美元增长至 21.0 亿美元，年复合增长率达到 31.61%，市场规模占全球量检测设备市场的比例由 14.71%增长至 27.45%，已成为全球增速最快且占比最大的前道量检测设备市场。

（3）我国成熟制程产线对前道量检测设备的需求缺口亟需缓解

由于国际龙头企业逐步不再生产成熟制程前道量检测设备，且前道量检测设备的国产化率仅为 2%，我国成熟制程晶圆制造产线面临着较大的供应缺口。前道量检测修复设备作为市场的重要组成，有效缓解了成熟制程设备供应紧张的局面，支持了我国半导体产线的建设。

2、前道量检测设备行业面临的挑战

（1）专业人才仍相对匮乏

前道量检测设备涉及多学科技术，是典型的技术密集型、人才密集型产业。虽然我国半导体产业已储备了一定的技术人员，但仍难以满足市场需求的快速增长，专业人才仍相对匮乏。

（2）国内企业整体技术水平及综合实力仍与国际先进水平存在一定差距

日本、美国等国家在前道量检测设备领域起步较早，拥有大量的技术积累和完善的产业链配套环境，在经营规模、产品种类、技术水平、品牌声誉等方面具备领先优势，综合实力强。我国前道量检测设备产业起步较晚，国内企业在整体技术水平、企业规模、人才储备、产品品类等方面仍与国际先进水平存在一定差距。

3、前道量检测设备行业内主要企业

前道量检测设备市场的供应格局相对集中，主要由 KLA、AMAT、Hitachi等国际龙头企业主导，其在销售规模、产品种类及先进程度、市场占有率等方面具备领先优势。近年来，随着我国半导体产业的快速发展，下游对前道量检测设备需求快速增长，涌现了中科飞测、上海精测、睿励仪器、无锡卓海等具备前道量检测设备供应能力的企业，具体如下：

（1）全球主要的前道量检测设备企业

1）KLA

KLA 是一家为半导体、印刷电路板和显示器等行业提供工艺支持解决方案的供应商。在半导体量检测领域，其产品线涵盖了质量控制全系列设备。目前为美国纳斯达克证券交易所上市企业，股票代码：KLAC。

2）AMAT

AMAT 成立于 1967 年，是一家为半导体、显示器和相关行业提供设备、服务和软件的制造商及供应商，其产品涵盖刻蚀设备、离子注入机、晶圆量检测等各类半导体设备。目前为美国纳斯达克证券交易所上市企业，股票代码：AMAT。

3）Hitachi

Hitachi 成立于 1910 年，是一家涉及电力、能源、产业、流通、水、城市建设、金融、医疗健康等领域的全球 500 强企业。在半导体设备领域，其为全球第三大前道量检测设备供应商。目前为美国纽约证券交易所上市企业，股票代码：HTHIY。

（2）国内前道量检测设备供应企业

1）中科飞测

深圳中科飞测科技股份有限公司专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等。

2）上海精测

上海精测半导体技术有限公司主要从事半导体测试设备为主的研发、生产和销售，同时也开发一部分显示和新能源领域的检测设备，产品主要包括膜厚测量机、激光切割机等，系武汉精测电子集团股份有限公司（精测电子，300567）的控股子公司。

3）睿励仪器

睿励科学仪器（上海）有限公司主要从事集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备的研发、生产和销售，主要产品包括光学薄膜测量设备、光学关键尺寸测量设备、缺陷检测设备等，系中微半导体设备（上海）股份有限公司（中微公司，688012）的参股子公司。

4）吉姆西

吉姆西半导体科技（无锡）有限公司主要从事半导体修复设备和研磨液供液系统等业务，涵盖 CMP、离子注入、量检测、光刻、涂胶显影、清洗等半导体修复设备，系半导体修复设备供应企业。

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目录

第1章 前道量检测设备行业综述及数据来源说明

1.1 前道量检测设备行业界定

1.1.1 前道量检测设备的定义

1.1.2 《国民经济行业分类与代码》中前道量检测设备行业归属

1.2 前道量检测设备行业相关专业术语

1.3 本报告数据来源及编制说明


第2章 中国前道量检测设备行业宏观环境分析（PEST）

2.1 中国前道量检测设备行业政策（Policy）环境分析

2.1.1 中国前道量检测设备行业监管体系及机构介绍

1、中国前道量检测设备行业主管部门

2、中国前道量检测设备行业自律组织

2.1.2 中国前道量检测设备行业发展相关政策规划汇总及解读

2.1.3 政策环境对中国前道量检测设备行业发展的影响总结

2.2 中国前道量检测设备行业经济（Economy）环境分析

2.2.1 中国宏观经济发展现状

2.2.2 中国宏观经济发展展望

2.3 中国前道量检测设备行业社会（Society）环境分析

2.4 中国前道量检测设备行业技术（Technology）环境分析


第3章 全球前道量检测设备行业发展现状及前道量检测设备市场前景

3.1 全球前道量检测设备行业发展历程介绍

3.2 全球前道量检测设备行业宏观环境背景

3.2.1 全球前道量检测设备行业经济环境概况

3.2.2 全球前道量检测设备行业经济预测

3.3 全球前道量检测设备行业发展现状及市场规模体量分析

3.4 全球前道量检测设备行业区域发展格局及重点区域市场研究

3.4.1 全球前道量检测设备行业区域发展格局

3.4.2 全球前道量检测设备行业重点区域市场发展状况

1、 亚洲前道量检测设备行业地区市场分析

（1）亚洲前道量检测设备行业市场现状分析

（2）亚洲前道量检测设备行业市场规模与市场需求分析

（3）2022-2028年亚洲前道量检测设备行业前景预测分析

2、 北美前道量检测设备行业地区市场分析

（1）北美前道量检测设备行业市场现状分析

（2）北美前道量检测设备行业市场规模与市场需求分析

（3）2022-2028年北美前道量检测设备行业前景预测分析

3、 欧洲前道量检测设备行业地区市场分析

（1）欧洲前道量检测设备行业市场现状分析

（2）欧洲前道量检测设备行业市场规模与市场需求分析

（3）2022-2028年欧洲前道量检测设备行业前景预测分析

4、 其他地区分析

5、 2022-2028年全球前道量检测设备行业规模预测

3.5 全球前道量检测设备行业市场竞争格局及重点企业案例研究

3.5.1 全球前道量检测设备行业市场竞争格局

3.5.2全球前道量检测设备行业重点企业案例

1、企业A

2、企业B

3、企业C


第4章 中国前道量检测设备行业进出口贸易状况及对外贸易依存度

4.1 全球及中国前道量检测设备行业发展差异分析

4.2 中国前道量检测设备行业进出口贸易整体状况

4.3 中国前道量检测设备行业进口贸易状况

4.3.1 中国前道量检测设备行业进口规模

4.3.2 中国前道量检测设备行业进口价格水平

4.3.3 中国前道量检测设备行业进口产品结构

4.3.4 中国前道量检测设备行业进口来源地

4.4 中国前道量检测设备行业出口贸易状况

4.4.1 中国前道量检测设备行业出口规模

4.4.2 中国前道量检测设备行业出口价格水平

4.4.3 中国前道量检测设备行业出口产品结构

4.4.4 中国前道量检测设备行业出口目的地


第5章 中国前道量检测设备行业市场供给状况及市场行情走势预判

5.1 中国前道量检测设备行业发展历程介绍

5.2 中国前道量检测设备行业市场特性解析

5.3 中国前道量检测设备行业市场主体类型及入场方式

5.4 中国前道量检测设备行业市场主体数量规模

5.5 中国前道量检测设备行业市场供给能力分析

5.6 中国前道量检测设备行业市场供给水平分析

5.7 中国前道量检测设备行业市场行情走势预判


第6章 2017-2022年上半年中国前道量检测设备行业市场需求状况及市场规模体量分析

6.1 中国前道量检测设备行业市场渗透状况分析

6.2 中国前道量检测设备行业市场饱和度分析

6.3 中国前道量检测设备行业市场需求状况

6.4 中国前道量检测设备行业市场销售状况

6.5 中国前道量检测设备行业市场规模体量分析


第7章 中国前道量检测设备行业市场竞争状况及国际市场竞争力分析

7.1 中国前道量检测设备行业波特五力模型分析

7.1.1 中国前道量检测设备行业现有竞争者之间的竞争分析

7.1.2 中国前道量检测设备行业关键要素的供应商议价能力分析

7.1.3 中国前道量检测设备行业消费者议价能力分析

7.1.4 中国前道量检测设备行业潜在进入者分析

7.1.5 中国前道量检测设备行业替代品风险分析

7.2 中国前道量检测设备行业投融资、兼并与重组案例

7.3 中国前道量检测设备行业市场竞争格局分析

7.4 中国前道量检测设备行业市场集中度分析

7.5 中国前道量检测设备行业国际市场竞争力分析

7.6 中国前道量检测设备行业国产替代布局状况


第8章 2017-2022年上半年中国前道量检测设备行业发展概述

8.1 中国前道量检测设备行业上下游产业链分析

8.1.1 产业链模型原理介绍

8.1.2 前道量检测设备行业产业链条分析

8.2 中国前道量检测设备行业产业链环节分析

8.2.1 主要上游产业供给情况分析

8.2.2 2022-2028年主要上游产业供给预测分析

8.2.3 主要上游产业价格分析

8.2.4 2022-2028年主要上游产业价格预测分析

8.2.5 主要下游产业发展现状分析

8.2.6 主要下游产业规模分析

8.2.7 主要下游产业价格分析

8.2.8 2022-2028年主要下游产业前景预测分析

8.3 中国前道量检测设备细分市场格局分布

8.4 中国前道量检测设备细分产品市场分析

8.7 中国前道量检测设备行业中游细分市场前景分析


第9章 中国前道量检测设备行业下游应用市场需求潜力分析

9.1 中国前道量检测设备行业细分市场分析

9.1.1 A市场用前道量检测设备

1、2017-2022年上半年行业发展概况

2、2017-2022年上半年需求规模

3、2022-2028年需求前景预测

9.1.2 B市场用前道量检测设备

1、2017-2022年上半年行业发展概况

2、2017-2022年上半年需求规模

3、2022-2028年需求前景预测

9.1.3 C市场用前道量检测设备

1、2017-2022年上半年行业发展概况

2、2017-2022年上半年需求规模

3、2022-2028年需求前景预测

9.1.4 D领域用前道量检测设备

1、2017-2022年上半年行业发展概况

2、2017-2022年上半年需求规模

3、2022-2028年需求前景预测

9.2 行业下游领域需求格局占比


第10章 2017-2022年上半年中国前道量检测设备行业区域市场现状分析

10.1 中国前道量检测设备行业区域市场规模分布

10.2 中国华东地前道量检测设备市场分析

10.2.1 华东地区概述

10.2.2 华东地区前道量检测设备市场供需情况及规模分析

10.2.3 2022-2028年华东地区前道量检测设备市场前景预测

10.3 华中地区市场分析

10.3.1 华中地区概述

10.3.2 华中地区前道量检测设备市场供需情况及规模分析

10.3.3 2022-2028年华中地区前道量检测设备市场前景预测

10.4 华南地区市场分析

10.4.1 华南地区概述

10.4.2 华南地区前道量检测设备市场供需情况及规模分析

10.4.3 2022-2028年华南地区前道量检测设备市场前景预测

10.5 华北地区市场分析

10.5.1 华北地区概述

10.5.2 华北地区前道量检测设备市场供需情况及规模分析

10.5.3 2022-2028年华北地区前道量检测设备市场前景预测

10.6 东北地区市场分析

10.6.1 东北地区概述

10.6.2 东北地区前道量检测设备市场供需情况及规模分析

10.6.3 2022-2028年东北地区前道量检测设备市场前景预测

10.7 西北地区市场分析

10.7.1 西北地区概述

10.7.2 西北地区前道量检测设备市场供需情况及规模分析

10.7.3 2022-2028年西北地区前道量检测设备市场前景预测

10.8 西南地区市场分析

10.8.1 西南地区概述

10.8.2 西南地区前道量检测设备市场供需情况及规模分析

10.8.3 2022-2028年西南地区前道量检测设备市场前景预测


第11章 中国前道量检测设备行业发展痛点及产业转型升级

11.1 中国前道量检测设备行业经营模式分析

11.2 中国前道量检测设备行业经营效益分析

11.2.1 中国前道量检测设备行业营收状况

11.2.2 中国前道量检测设备行业利润水平

11.2.3 中国前道量检测设备行业成本管控

11.3 中国前道量检测设备行业市场痛点分析

11.4 中国前道量检测设备产业结构优化与转型升级发展路径


第12章 前道量检测设备重点企业布局案例研究

12.1 前道量检测设备重点企业市场份额

12.2 前道量检测设备重点企业布局案例分析

12.2.1 A公司

（1）企业概况

（2）企业生产经营基本情况

（3）企业前道量检测设备业务布局状况及产品销售情况

（4）企业前道量检测设备营业收入及增长情况

（5）企业核心竞争力分析

（6）企业发展战略分析

12.2.2 B公司

（1）企业概况

（2）企业生产经营基本情况

（3）企业前道量检测设备业务布局状况及产品销售情况

（4）企业前道量检测设备营业收入及增长情况

（5）企业核心竞争力分析

（6）企业发展战略分析

12.2.3 C公司

（1）企业概况

（2）企业生产经营基本情况

（3）企业前道量检测设备业务布局状况及产品销售情况

（4）企业前道量检测设备营业收入及增长情况

（5）企业核心竞争力分析

（6）企业发展战略分析

12.2.4 D公司

（1）企业概况

（2）企业生产经营基本情况

（3）企业前道量检测设备业务布局状况及产品销售情况

（4）企业前道量检测设备营业收入及增长情况

（5）企业核心竞争力分析

（6）企业发展战略分析

12.2.5 E公司

（1）企业概况

（2）企业生产经营基本情况

（3）企业前道量检测设备业务布局状况及产品销售情况

（4）企业前道量检测设备营业收入及增长情况

（5）企业核心竞争力分析

（6）企业发展战略分析


第13章 中国前道量检测设备行业发展潜力评估及趋势前景预判

13.1 中国前道量检测设备行业SWOT分析

13.2 2022-2028年中国前道量检测设备行业发展潜力评估

13.3 2022-2028年中国前道量检测设备行业市场前景预测

13.4 2022-2028年中国前道量检测设备行业发展趋势预判


第14章 中国前道量检测设备行业投资价值及投资机会分析

14.1 中国前道量检测设备行业市场进入壁垒构成分析

14.1.1 前道量检测设备行业人才壁垒

14.1.2 前道量检测设备行业技术壁垒

14.1.3 前道量检测设备行业资金壁垒

14.1.4 前道量检测设备行业其他壁垒

14.2 中国前道量检测设备行业投资风险预警

14.2.1 前道量检测设备行业政策风险分析

14.2.2 前道量检测设备行业技术风险分析

14.2.3 前道量检测设备行业宏观经济波动风险分析

14.2.4 前道量检测设备行业其他风险分析

14.3 中国前道量检测设备行业投资价值评估


第15章 中国前道量检测设备行业研究结论及建议